Mikrosystemtechnik

Technische Systeme, deren funktionelle Strukturen nur wenige Mikrometer groß sind. Ein Mikrometer entspricht einem Tausendstel Millimeter. Dabei werden Elemente der Mikroelektronik, Mikromechanik, Mikrofluidik, Mikrooptik, aber auch Entwicklungen der Bio- und Nanotechnologie genutzt. Bei diesen Größenordnungen benötigen biochemische Reaktionen weniger Zeit.